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喷淋降尘系统是一种新型降尘系统。其原理是利用高压泵将水加压经高压管路送至高压喷嘴，形成飘飞的水雾，由于水雾颗粒是微米级的，非常细小，能够吸附空气中杂质，营造良好清新的空气，达到降尘、加湿等多

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配置：工件盘 公自转，晶控 310，单枪 电子枪 ，双阻蒸，考夫曼离子源，镀膜室内采用灯管加热

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